Normal view
MARC view
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"] В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
Material type:
TextLanguage: Russian Series: НанотехнологииPublication details: Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010Description: 283 с. ил., табл. 22 смISBN: 9785996300327Subject(s): Интегральные схемы -- Производство -- Плазмохимические методы | интегральные микротехнологии | наноэлектроника, технологические процессы | микроэлектроника, технологические процессы | интегральные схемы, травление вакуумно-плазменное | наносистемы, травление вакуумно-плазменное | подложки, травление вакуумно-плазменное | травление вакуумно-плазменное, методы | травление ионно-плазменное, методы контроля | кремний, травление плазмохимическое | интегральные системы ультрабольшие, травление вакуумно-плазменное | эмиттеры кремниевые, регулирование профилей травлением вакуумно-плазменным | микрозеркала, изготовление травлением вакуумно-плазменным | лазеры, изготовление травлением вакуумно-плазменнымOther classification: З844.15-060.14,0
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 Г167 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000768142 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 Г167 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000768143 | ||
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-995000к (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000768144 | ||
| 1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-995001 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000768145 |
Библиогр.: с. 275-280
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.