Normal view
MARC view
- Данилкин, Евгений Владимирович
Данилкин, Евгений Владимирович (Имя лица)
Machine generated authority record.
Work cat.: (RU-ToGU): Галперин, Вячеслав Александрович 367424, Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях, 2010