Normal view
MARC view
- Галперин, Вячеслав Александрович
Галперин, Вячеслав Александрович (Имя лица)
Machine generated authority record.
Work cat.: (RU-ToGU): Галперин, Вячеслав Александрович, Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях, 2010