Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (3)
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (3)
-
Item types
-
Topics
- Si-SiO2 (1)
- алюминиевые пленки (1)
- геттерирование (2)
- дефекты (1)
- дефекты структурно-примесные (1)
- дрейф ионов (2)
- интегральные схемы (2)
- кремниевые микросхемы (2)
- кремний (1)
- кремний поликристаллический (1)
- металлизация алюминиевая (1)
- микросхемы (1)
- микроэлектроника (1)
- окисление (1)
- полупроводники (2)
- примеси неконтролируемые (1)
- структурно-примесные дефекты (1)
- субмикронная технология (2)
- технология производства микросхем (1)
- чипы кремниевые (2)
- Show more
- Show less