Normal view
MARC view
Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС Ч. 1
Material type:
TextPublication details: М. [Б.м.] 1999Description: 226 с. грISBN: 5934970011Subject(s): субмикронная технология | полупроводники | геттерирование | структурно-примесные дефекты | дрейф ионов | кремниевые микросхемы | интегральные схемы | микроэлектроника | примеси неконтролируемые | кремний поликристаллический | чипы кремниевые | технология производства микросхем | физико-термические процессы
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-868101к (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000080630 |
Библиогр.: с. 220-223
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.