Normal view
MARC view
Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС Ч. 2
Material type: TextPublication details: М. 1999Description: 216 с. грISBN: 5934970011Subject(s): субмикронная технология | полупроводники | геттерирование | дефекты структурно-примесные | дрейф ионов | кремниевые микросхемы | интегральные схемы | электронно-ионные процессы | чипы кремниевые | электрофизические свойства | алюминиевые пленки | металлизация алюминиеваяItem type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-868125к 621.3 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000080468 |
Библиогр.: с. 213-214
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.