Normal view
MARC view
Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" Д. Г. Громов ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т)
Material type: TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 204 с. ил. 21 смISBN: 9785725606485Subject(s): Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений | интегральные схемы сверхбольшие кремниевые | силицидообразующие системы металл-кремний | силицидные контактные слои | диффузионно-барьерные слои | медные многоуровневые межсоединения | металлизация многослойная многоуровневая | Damascene, технология металлизации интегральных схемItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-998701к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000792271 |
Библиогр.: с. 188-201
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.