Normal view
MARC view
Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" (Record no. 306847)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02301cam a2200373 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000416953 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922052244.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9785725606485 |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | 005079642 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RuMoRKP |
| Код языка каталог. | rus |
| Организация, изменившая запись | RuMoRGB |
| -- | RU-ToGU |
| 041 0# - Код языка издания | |
| Код языка текста | rus |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.592.9-022.592:546.281:621.793 |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.38.049.77-022.532:546.281:621.793 |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Громов, Дмитрий Геннадьевич |
| 9 (RLIN) | 367683 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" |
| Ответственность | Д. Г. Громов ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т) |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | МИЭТ |
| Дата издания | 2011 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 204 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
| Размеры | 21 см. |
| 490 10 - Серия | |
| Заглавие серии | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 188-201 |
| 650 #7 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Интегральные схемы |
| Основная подрубрика | Металлизация |
| Типовое деление | Учебные издания для высших учебных заведений |
| Источник рубрики | nlr_sh |
| 9 (RLIN) | 378012 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | интегральные схемы сверхбольшие кремниевые |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | силицидообразующие системы металл-кремний |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | силицидные контактные слои |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диффузионно-барьерные слои |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | медные многоуровневые межсоединения |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | металлизация многослойная многоуровневая |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | Damascene, технология металлизации интегральных схем |
| 830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
| 9 (RLIN) | 189863 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 621.3 |
| Авторский знак | У912 |
| Код страны | ru |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | учебник |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 306847 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 04/04/2021 | 270.00 | 1-998701к | 13820000792271 | Выдается в читальный зал |