Normal view
MARC view
Учебное пособие по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] М. А. Королев, А. Ю. Красюков, С. А. Поломошнов ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т)
Material type: TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 99 с. ил. 20 смISBN: 9785725606539Subject(s): учебные пособия для вузов | наноэлектроника | МОП-транзисторы наноразмерные | интегральные микросхемы наноразмерные кремниевые | транзисторы биполярные изопланарные | планарная технология | диэлектрики подзатворные | МОП-структуры | двуокись кремния | окислы подзатворные | нитрирование термическое | МОП-транзисторы субмикронные | МОП-транзисторы | микроминиатюризация МОП-транзисторов | поликремниевые затворы | силицидные затворы | интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация | технология МОП-транзисторов наноразмерныхItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-998726к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000792208 |
Библиогр.: с. 97
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.