Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Учебное пособие по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники" (Record no. 281408)

MARC details
000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 02959cam a2200505 i 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле vtls000416956
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20210922043334.0
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d
020 ## - Индекс ISBN
ISBN 9785725606539
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер 005079654
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RuMoRKP
Код языка каталог. rus
Организация, изменившая запись RuMoRGB
-- RU-ToGU
041 0# - Код языка издания
Код языка текста rus
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.382.049.77-022.532(075.8)
100 1# - Автор
Автор Королев, Михаил Александрович
9 (RLIN) 361476
245 10 - Заглавие
Заглавие Учебное пособие по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники"
Продолж. заглавия [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
Ответственность М. А. Королев, А. Ю. Красюков, С. А. Поломошнов ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т)
260 ## - Выходные данные
Место издания Москва
Издательство МИЭТ
Дата издания 2011
300 ## - Физическое описание
Объем 99 с.
Иллюстрации/тип воспроизводства ил.
Размеры 20 см.
490 10 - Серия
Заглавие серии Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: с. 97
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова учебные пособия для вузов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова наноэлектроника
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова МОП-транзисторы наноразмерные
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова интегральные микросхемы наноразмерные кремниевые
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова транзисторы биполярные изопланарные
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова планарная технология
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова диэлектрики подзатворные
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова МОП-структуры
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова двуокись кремния
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова окислы подзатворные
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова нитрирование термическое
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова МОП-транзисторы субмикронные
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова МОП-транзисторы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова микроминиатюризация МОП-транзисторов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова поликремниевые затворы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова силицидные затворы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова технология МОП-транзисторов наноразмерных
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Красюков, Антон Юрьевич
9 (RLIN) 361477
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Поломошнов, Сергей Александрович
9 (RLIN) 361478
830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие
Унифицированное заглавие Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
9 (RLIN) 189863
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
Полочный индекс 621.3
Авторский знак У912
Код страны ru
908 ## - Параметр входа данных
Параметр входа данных учебник
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 281408
Holdings
Не выдается Отсутствует на месте Поврежден Исходное место хранения Местоположение Дата поступления Цена Всего выдач Расстановочный шифр Штрих-код Класс экземпляра
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 04/04/2021 200.00   1-998726к 13820000792208 Выдается в читальный зал