Normal view
MARC view
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы В. Киреев, А. Столяров
Material type: TextLanguage: Russian Series: Мир электроникиPublication details: Москва Техносфера 2006Description: 190, [1] с. ил. 22 смISBN: 5948360393Subject(s): Металлы -- Осаждение из газовой фазы | Микроэлектронные схемы интегральные -- Производство | полупроводниковые пленки | термоактивированные процессы | плазмоактивированные процессы | эпитаксиальные монокристаллические пленки | кремний | германий | полупроводниковые гетероструктуры | поликремний легированный | поликремний нелегированный | кремний аморфный | стекла силикатные | нитрид кремния | оксинитрид кремния | диэлектрические пленки | диэлектрические постоянные | вольфрам | титан | тантал | алюминий | медь | фоторезисторы кремнеорганические | микроструктуры | интегральные микросхемы | технология производства микросхемOther classification: 32.85Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000611963 | ||
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000611964 | ||
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 3 | Available | 13820000611965 | ||
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Библиотека РФФ | 621.3 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 4 | Checked out | 23/07/2023 | 13820000611966 | |
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 5 | Available | 13820000611967 | ||
1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-952628 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000584134 | ||
1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-952629 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000584135 | ||
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Факультетская библиотека | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | Available (Ограниченный доступ) | 13820000539379 | |||
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-939316к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000542020 | |||
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000542021 | |||
1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-940784 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000539380 |
Библиогр.: с. 188-190
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.