Normal view
MARC view
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы (Record no. 497502)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 02850nam a2200625 i 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | vtls000215857 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20230215101510.0 |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 120827s2006 ru a f b 000 0 rus |
017 ## - Номер регистрации авторского права или обязательного экземпляра | |
Номер государственной регистрации | 06-6254 |
Организация, присвоившая номер | RuMoRKP |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 5948360393 |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | (RU-RKP)ru06-016479RKP |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RuMoRKP |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-RKP |
Организация, изменившая запись | RU-ToGU |
041 0# - Код языка издания | |
Код языка текста | rus |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.315.592-034 |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.793.3 |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | 32.85 |
Источник индекса | rubbkm |
100 1# - Автор | |
Автор | Киреев, Валерий Юрьевич |
9 (RLIN) | 441935 |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы |
Ответственность | В. Киреев, А. Столяров |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Москва |
Издательство | Техносфера |
Дата издания | 2006 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 190, [1] с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
Размеры | 22 см. |
490 10 - Серия | |
Заглавие серии | Мир электроники |
№ тома | VII-17 |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр.: с. 188-190 |
650 #7 - Тематические рубрики | |
Основная рубрика | Металлы |
Основная подрубрика | Осаждение из газовой фазы |
Источник рубрики | RuMoRKP |
9 (RLIN) | 524547 |
650 #7 - Тематические рубрики | |
Основная рубрика | Микроэлектронные схемы интегральные |
Основная подрубрика | Производство |
Источник рубрики | RuMoRKP |
9 (RLIN) | 515645 |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | полупроводниковые пленки |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | термоактивированные процессы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | плазмоактивированные процессы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | эпитаксиальные монокристаллические пленки |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кремний |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | германий |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | полупроводниковые гетероструктуры |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | поликремний легированный |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | поликремний нелегированный |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кремний аморфный |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | стекла силикатные |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | нитрид кремния |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | оксинитрид кремния |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | диэлектрические пленки |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | диэлектрические постоянные |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | вольфрам |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | титан |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | тантал |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | алюминий |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | медь |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | фоторезисторы кремнеорганические |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | микроструктуры |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | интегральные микросхемы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | технология производства микросхем |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Столяров, Александр Александрович |
9 (RLIN) | 524548 |
830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
Унифицированное заглавие | Мир электроники |
9 (RLIN) | 151446 |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
Полочный индекс | 621.3 |
Авторский знак | К43 |
Код страны | ru |
920 ## - | |
-- | 5-94836-039-3 |
-- | в пер. |
-- | 1500 экз. |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 497502 |
Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Расстановочный шифр | Штрих-код | Номер копии | Класс экземпляра | Всего выдач | Всего продлений | Дата окончания срока выдачи | Дата последней выдачи/возврата | Ограничение доступа (факультетские б-ки) | Факультетские библиотеки |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Научная библиотека ТГУ | Абонемент. Депозитарий | 05/04/2021 | 192.00 | 62 К43 | 13820000611963 | 1 | 6 месяцев | |||||||||
Научная библиотека ТГУ | Абонемент. Депозитарий | 05/04/2021 | 192.00 | 62 К43 | 13820000611964 | 2 | 6 месяцев | |||||||||
Научная библиотека ТГУ | Абонемент. Депозитарий | 05/04/2021 | 192.00 | 62 К43 | 13820000611965 | 3 | 6 месяцев | |||||||||
Научная библиотека ТГУ | Библиотека РФФ | 05/04/2021 | 192.00 | 621.3 К43 | 13820000611966 | 4 | 6 месяцев | 1 | 5 | 23/07/2023 | 10/04/2021 | |||||
Научная библиотека ТГУ | Абонемент. Депозитарий | 05/04/2021 | 192.00 | 62 К43 | 13820000611967 | 5 | 6 месяцев | 1 | 1 | 27/01/2022 | ||||||
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 05/04/2021 | 160.05 | 1-952628 | 13820000584134 | 1 | 1 месяц | |||||||||
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 05/04/2021 | 160.05 | 1-952629 | 13820000584135 | 2 | 1 месяц | |||||||||
Научная библиотека ТГУ | Факультетская библиотека | 05/04/2021 | 170.50 | 62 К43 | 13820000539379 | Выдается в читальный зал | Ограниченный доступ | Каф. аналитической химии (ХФ) | ||||||||
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 05/04/2021 | 112.09 | 1-939316к | 13820000542020 | Выдается в читальный зал | ||||||||||
Научная библиотека ТГУ | Абонемент. Депозитарий | 05/04/2021 | 112.09 | 62 К43 | 13820000542021 | 6 месяцев | ||||||||||
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 05/04/2021 | 170.50 | 1-940784 | 13820000539380 | 1 месяц |