Normal view
MARC view
Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Москва Проспект 2018Description: 519 с. ил., таблISBN: 13820000993296; 9785392282081Subject(s): учебные пособия для вузов | радиоэлектронная аппаратура | микроэлектроника | высокочистые материалы для электронной техники | глубокая очистка | химические методы | электрохимические методы | дистилляционные методы | кристаллизационные методы | технологические схемы | полупроводниковые подложки, обработка | полупроводниковые материалы | контроль качества подложек | полупроводники, технология получения | химическое травление полупроводников | полирование полупроводников | приборные структуры, формирование | эпитаксиальные методы | осаждение диэлектрических слоев | литографические процессы | диффузионное легирование полупроводников | ионно-лучевое легирование полупроводников | осаждение тонких пленок | радиационно-термические обработки | кремний на диэлектрике, структуры | наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание | квантоворазмерные структуры | микротехнологии в микросистемной технике | нанотехнологии в микросистемной технике | материалы микроэлектроники, структурные дефекты | дефекты в кристаллах, классификация | кристаллы бездислокационные | дефектообразование в приборных структурахOther classification: З844.1-06я73-1
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Научная библиотека ТГУ Читальный зал 5 | 621.3 В758 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000993296 |
Библиогр. в конце гл.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.