Normal view
MARC view
Базовые технологии микро- и наноэлектроники (Record no. 460467)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 03939cam a2200697 c 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | vtls000669567 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20210922103348.0 |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 191113s2018 ru ac b 000 0drus |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 13820000993296 |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 9785392282081 |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | to000669567 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RuMoRKP |
Код языка каталог. | rus |
Организация, изменившая запись | RuMoRGB |
-- | RU-ToGU |
041 0# - Код языка издания | |
Код языка текста | rus |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.315.592:621.382.049.77(075.8) |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.315.592-022.532:621.382-022.532(075.8) |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.315.592:548.4/5(075.8) |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | З844.1-06я73-1 |
Источник индекса | rubbk |
100 1# - Автор | |
Автор | Воротынцев, Владимир Михайлович |
9 (RLIN) | 98561 |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Базовые технологии микро- и наноэлектроники |
Продолж. заглавия | учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" |
Ответственность | В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Москва |
Издательство | Проспект |
Дата издания | 2018 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 519 с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | ил., табл. |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр. в конце гл. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | учебные пособия для вузов |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | радиоэлектронная аппаратура. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | микроэлектроника |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | высокочистые материалы для электронной техники |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | глубокая очистка |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | химические методы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | электрохимические методы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | дистилляционные методы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кристаллизационные методы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | технологические схемы. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | полупроводниковые подложки, обработка |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | полупроводниковые материалы. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | контроль качества подложек |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | полупроводники, технология получения |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | химическое травление полупроводников |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | полирование полупроводников |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | приборные структуры, формирование |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | эпитаксиальные методы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | осаждение диэлектрических слоев |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | литографические процессы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | диффузионное легирование полупроводников |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | ионно-лучевое легирование полупроводников |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | осаждение тонких пленок |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | радиационно-термические обработки |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кремний на диэлектрике, структуры |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | квантоворазмерные структуры |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | микротехнологии в микросистемной технике |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | нанотехнологии в микросистемной технике |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | материалы микроэлектроники, структурные дефекты |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | дефекты в кристаллах, классификация |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кристаллы бездислокационные |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | дефектообразование в приборных структурах |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Скупов, Владимир Дмитриевич |
9 (RLIN) | 106190 |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
Полочный индекс | 621.3 |
Авторский знак | В758 |
Код страны | ru |
908 ## - Параметр входа данных | |
Параметр входа данных | учебник |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 460467 |
Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Научная библиотека ТГУ | Читальный зал 5 | 05/04/2021 | 823.00 | 621.3 В758 | 13820000993296 | Выдается по месту хранения |