Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (3)
-
Authors
- Адамс, А. (1)
- Воробьев, Григорий Абрамович (1)
- Данилина, Тамара Ивановна (1)
- Зи, С. М. (2)
- Кац, Л. (1)
- Могэб, К. (1)
- Пирс, К. (1)
- Смирнова, Клара Ивановна (1)
- Фичтнер, У. (1)
- Фрейзер, Д. (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (2)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (3)
-
Item types
- 1 месяц (2)
- Выдается в читальный зал (3)
-
Topics
- Микросхемы - Производство - Учебники и пособия (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство (1)
- герметизация интегральных схем (1)
- двуокись кремния (1)
- диагностика интегральных схем (1)
- диффузионные процессы (микроэлектроника) (1)
- диффузия в поликремнии (1)
- интегральные микросхемы (1)
- интегральные микросхемы полупроводниковые (1)
- интегральные схемы сверхбольшие кремниевые (1)
- ионная имплантация (1)
- ионная имплантация интегральных схем (1)
- ионно-плазменные технологии (1)
- контроль интегральных схем (1)
- кремний (1)
- литография интегральных схем (3)
- литография оптическая (1)
- литография рентгеновская (1)
- литография электронно-лучевая (1)
- металлизация интегральных схем (1)
- Show more
- Show less