Normal view
MARC view
Технология СБИС [Кн.] 1 в 2 кн. [Пирс К., Адамс А., Кац Л. и др.] ; под ред. С. Зи ; пер. с англ. В. М. Звероловлева [и др.] ; под ред. Ю. Д. Чистякова
Material type: TextPublication details: Москва Мир 1986Description: 404 с. илOther title: VLSI Technology [Parallel title]Subject(s): Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство | рост кристаллов | кремний | подложки кремниевые | эпитаксия | эпитаксиальные технологии | осаждение диэлектрических пленок | осаждение плазмохимическое | нитрид кремния | двуокись кремния | поликремний | пленки окисные | окисление поликремния | диффузия в поликремнии | ионная имплантация | литография оптическая | литография электронно-лучевая | литография рентгеновская | литография интегральных схемOther classification: 47.13 | 32.844.1Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-623559 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000147748 | ||
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-619086к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000783034 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр. в конце глав.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.