Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (5)
-
Authors
- Броудай, Ивор (1)
- Булгаков, Станислав Сергеевич (1)
- Гудымович, Елена Никифоровна (1)
- Королев, Михаил Александрович (1)
- Красюков, Антон Юрьевич (1)
- Кузнецова, Галина Алексеевна (1)
- Ланина, Эльвира Прокопьевна (1)
- Мерей, Джулиус (1)
- Поломошнов, Сергей Александрович (1)
- Суровцев, Игорь Степанович (1)
- Сыноров, Владимир Федорович (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
-
Item types
-
Topics
- "кремний на изоляторе" (КНИ) структуры (1)
- 3D-TSV, технологический метод (1)
- 3D-транзисторные структуры на кристалле (1)
- 3D-транзисторы многозатворные (1)
- SIMOX-технология (1)
- КНИ-структуры, создание (1)
- МДП-транзисторы (1)
- МОП-структуры (1)
- МОП-транзисторы (2)
- МОП-транзисторы наноразмерные (1)
- МОП-транзисторы субмикронные (1)
- УФ-излучение (1)
- большие интегральные схемы (БИС) (1)
- взаимодействие излучения с веществом (1)
- выращивание нанотрубок в дуговом разряде (1)
- двуокись кремния (2)
- диффузия (2)
- диэлектрики подзатворные (1)
- планарная технология (4)
- тонкие пленки (2)
- Show more
- Show less