Normal view
MARC view
Практическая фотолитография Учебное пособие для студентов университетов и других учебных заведений химических специальностей Томский государственный университет, Кафедра аналитической химии
Material type:
TextPublication details: Томск Издательство Томского университета 1998Description: 92 с. илSubject(s): учебные издания для вузов | полупроводники | планарная технология | фотолитография | подложка | фоторезист | УФ-излучение | термообработка | диффузия
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Отдел рукописей и книжных памятников | 1-866130к 621.38 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000060939 |
Библиогр.: с. 86
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.