Normal view
MARC view
Основные проблемы фотохимического травления диэлектрических слоев в микроэлектронике Е. Н. Гудымович
Material type:
ArticleSubject(s): наноматериалы полифункциональные | нанотехнологии | труды ученых ТГУ | фотохимическое травление | диэлектрические слои
In:
Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии. Т. 1 Т. 1. С. 168-171
No physical items for this record
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.