Normal view
MARC view
Основные проблемы фотохимического травления диэлектрических слоев в микроэлектронике (Record no. 80320)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 01099naa a2200241 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000481924 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210402235510.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 140709s2008 ru f 000 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000481924 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Гудымович, Елена Никифоровна |
| 9 (RLIN) | 66959 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Основные проблемы фотохимического травления диэлектрических слоев в микроэлектронике |
| Ответственность | Е. Н. Гудымович |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | наноматериалы полифункциональные |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанотехнологии |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | труды ученых ТГУ |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | фотохимическое травление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диэлектрические слои |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии. Т. 1 |
| Место и дата издания | Томск, 2008 |
| Прочая информация | Т. 1. С. 168-171 |
| ISBN | 9785751118822 |
| Контрольный № источника | to000470812 |
| 852 ## - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 80320 |
No items available.