Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Осаждение аморфного оксида кремния из газовой фазы при воздействии мощным электронным пучком Л. Л. Жуков, В. А. Макеева, А. И. Пушкарев, Г. Е. Ремнев

Contributor(s): Жуков, Л. Л | Макеева, В. А | Пушкарев, Александр Иванович | Ремнев, Геннадий ЕфимовичMaterial type: ArticleArticleSubject(s): оксид кремния | полупроводниковые пленки | газовая фаза | электронные пучки | излучательные свойства In: Современные проблемы физики и технологии : сборник статей молодых ученых С. 165-169
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: 3 назв.

There are no comments on this title.

to post a comment.