Normal view
MARC view
Осаждение аморфного оксида кремния из газовой фазы при воздействии мощным электронным пучком Л. Л. Жуков, В. А. Макеева, А. И. Пушкарев, Г. Е. Ремнев
Material type: ArticleSubject(s): оксид кремния | полупроводниковые пленки | газовая фаза | электронные пучки | излучательные свойства In: Современные проблемы физики и технологии : сборник статей молодых ученых С. 165-169No physical items for this record
Библиогр.: 3 назв.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.