Normal view
MARC view
- Ремнев, Геннадий Ефимович
Ремнев, Геннадий Ефимович (Имя лица)
Machine generated authority record.
Work cat.: (RU-ToGU): Осаждение аморфного оксида кремния из газовой фазы при воздействии мощным электронным пучком