Normal view
MARC view
Технология СБИС (Record no. 65107)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 02486nam a2200541 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | vtls000067358 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20210921195815.0 |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 950720m1986 ru a f b 000 0 rus|d |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | 0070-31560 |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | (RU-ToGU)ru86-085014 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
Организация, изменившая запись | RU-ToGU |
Правила каталог. | PSBO |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.382.049.771.14 |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | 47.13 |
Источник индекса | rugasnti |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | 32.844.1 |
Источник индекса | rubbk |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Технология СБИС |
Номер части/раздела | [Кн.] 1 |
Продолж. заглавия | в 2 кн. |
Ответственность | [Пирс К., Адамс А., Кац Л. и др.] ; под ред. С. Зи ; пер. с англ. В. М. Звероловлева [и др.] ; под ред. Ю. Д. Чистякова |
246 11 - Заглавие тома/части | |
Заглавие тома/части | VLSI Technology |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Москва |
Издательство | Мир |
Дата издания | 1986 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 404 с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
500 ## - Примечания | |
Примечание | Авт. указаны на обороте тит. л. |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр. в конце глав. |
650 #7 - Тематические рубрики | |
Основная рубрика | Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство. |
Источник рубрики | rurkp |
9 (RLIN) | 108143 |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | рост кристаллов |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кремний |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | подложки кремниевые |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | эпитаксия |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | эпитаксиальные технологии |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | осаждение диэлектрических пленок |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | осаждение плазмохимическое |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | нитрид кремния |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | двуокись кремния |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | поликремний |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | пленки окисные |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | окисление поликремния |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | диффузия в поликремнии |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | ионная имплантация |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | литография оптическая |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | литография электронно-лучевая |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | литография рентгеновская |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | литография интегральных схем |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Пирс, К. |
9 (RLIN) | 162296 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Зи, С. М. |
Код отношения | edt |
9 (RLIN) | 162274 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Чистяков, Юрий Дмитриевич |
Код отношения | edt |
9 (RLIN) | 162275 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Адамс, А. |
9 (RLIN) | 162297 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Кац, Л. |
9 (RLIN) | 162298 |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
Полочный индекс | 621.38 |
Авторский знак | Т384 |
Код страны | ru |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 65107 |
Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Номер копии | Класс экземпляра |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 02/04/2021 | 3.00 | 1-623559 | 13820000147748 | 1 | 1 месяц | ||||
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 02/04/2021 | 3.00 | 1-619086к | 13820000783034 | Выдается в читальный зал |