Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов

By: Воротынцев, Владимир МихайловичContributor(s): Скупов, Владимир ДмитриевичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Publication details: Москва Проспект 2018Description: 519 с. ил., таблISBN: 13820000993296; 9785392282081Subject(s): учебные пособия для вузов | радиоэлектронная аппаратура | микроэлектроника | высокочистые материалы для электронной техники | глубокая очистка | химические методы | электрохимические методы | дистилляционные методы | кристаллизационные методы | технологические схемы | полупроводниковые подложки, обработка | полупроводниковые материалы | контроль качества подложек | полупроводники, технология получения | химическое травление полупроводников | полирование полупроводников | приборные структуры, формирование | эпитаксиальные методы | осаждение диэлектрических слоев | литографические процессы | диффузионное легирование полупроводников | ионно-лучевое легирование полупроводников | осаждение тонких пленок | радиационно-термические обработки | кремний на диэлектрике, структуры | наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание | квантоворазмерные структуры | микротехнологии в микросистемной технике | нанотехнологии в микросистемной технике | материалы микроэлектроники, структурные дефекты | дефекты в кристаллах, классификация | кристаллы бездислокационные | дефектообразование в приборных структурахOther classification: З844.1-06я73-1
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Holdings
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается по месту хранения Научная библиотека ТГУ Читальный зал 5 621.3 В758 (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000993296
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Читальный зал 5 Close shelf browser (Hides shelf browser)
Cover image
No cover image available
621.3 В658 Функциональная акустоэлектроника учебное пособие : [для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки 200600 "Фотоника и оптоинформатика"] 621.3 В676 Адаптивные и инвариантные алгоритмы обнаружения объектов на изображениях и их моделирование в MATLAB учебное пособие : [для студентов технических направлений подготовки и специальностей, дипломников, магистров, аспирантов и др.] 621.3 В752 Радиопередающие и радиоприемные устройства 621.3 В758 Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" 621.3 В758 Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" 621.3 Г124 Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр)] 621.3 Г124 Схемотехника от азов до создания практических устройств

Библиогр. в конце гл.

There are no comments on this title.

to post a comment.