Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"] Ю. Б. Цветков ; Московский гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана (нац. исслед. ун-т)

By: Цветков, Юрий БорисовичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Publication details: Москва Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана 2018Description: 122, [1] с. ил., табл., цв. илISBN: 9785703848647Subject(s): учебные пособия для вузов | микроэлектроника, технологические процессы | интегральные микротехнологии | интегральные микросхемы, производство | КМОП-микросхемы | КМОП-технологии | микроэлектромеханические системы | особенности производства | микродатчики давления | чувствительные элементы датчиков | кремниевые пластины монокристаллические | кремниевые пластины, параметры | монокристаллический кремний | монокристаллы, выращивание | кремниевые пластины, обработка | термическое оксидирование | оксидирование, стадии | диоксид кремния, свойства | диоксид кремния, структура | Дила-Гроува модель роста оксида | термическое оксидирование промышленноеOther classification: З844.1-06я73-1
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Holdings
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается по месту хранения Научная библиотека ТГУ Читальный зал 5 621.3 Ц274 (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000998277
1 месяц Научная библиотека ТГУ Читальный зал. Депозитарий 621.3 Ц274 (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000998278
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Читальный зал. Депозитарий Close shelf browser (Hides shelf browser)
621.3 Х18 Методы и средства измерений в телекоммуникационных системах учебное пособие для академического бакалавриата : [для вузов по инженерно-техническим направлениям и специальностям ; по направлению подготовки дипломированных специалистов 210400 - Телекоммуникации] 621.3 Х21 Борьба с помехами 621.3 Х942 Метрология, стандартизация и сертификация [учебник для студентов и аспирантов, обучающихся по направлениям подготовки: 09.03.01-"Информатика и вычислительная техника" (бакалавриат); 11.03.01-"Радиотехника" (бакалавриат); 15.03.04-"Автоматизация технологических процессов и производств" (бакалавриат) и др.] 621.3 Ц274 Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"] 621.3 Ц85 Волоконно-оптическая техника практическое руководство 621.3 Ч-493 Специальные вопросы распространения радиоволн в сетях связи и радиовещания 621.3 Ш447 Радиоэлектронные средства бытового назначения учебник : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности "Бытовая радиоэлектронная аппаратура" направления подготовки "Радиотехника"]

Библиогр.: с. 52, 121

There are no comments on this title.

to post a comment.