Normal view
MARC view
Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 (Record no. 460257)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 02867nam a2200529 c 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | vtls000670189 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20211217101642.0 |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 191120s2018 ru a b 000 0 rus|d |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 9785703848647 |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | 009843295 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RuMoRGB |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | rcr |
Организация, изменившая запись | RU-ToGU |
041 0# - Код языка издания | |
Код языка текста | rus |
044 ## - Код страны публикации | |
Код страны публикации | ru |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.382.049.77-022.532(075.8) |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.382.049.77-022.532:66.011(075.8) |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | З844.1-06я73-1 |
Источник индекса | rubbk |
100 1# - Автор | |
Автор | Цветков, Юрий Борисович |
9 (RLIN) | 498494 |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 |
Продолж. заглавия | учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"] |
Ответственность | Ю. Б. Цветков ; Московский гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана (нац. исслед. ун-т) |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Москва |
Издательство | Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана |
Дата издания | 2018 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 122, [1] с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | ил., табл., цв. ил. |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр.: с. 52, 121 |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | учебные пособия для вузов. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | микроэлектроника, технологические процессы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | интегральные микротехнологии |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | интегральные микросхемы, производство |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | КМОП-микросхемы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | КМОП-технологии |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | микроэлектромеханические системы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | особенности производства |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | микродатчики давления |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | чувствительные элементы датчиков |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кремниевые пластины монокристаллические |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кремниевые пластины, параметры |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | монокристаллический кремний |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | монокристаллы, выращивание. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кремниевые пластины, обработка |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | термическое оксидирование |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | оксидирование, стадии |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | диоксид кремния, свойства |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | диоксид кремния, структура |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | Дила-Гроува модель роста оксида |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | термическое оксидирование промышленное |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
Полочный индекс | 621.3 |
Авторский знак | Ц274 |
Код страны | ru |
908 ## - Параметр входа данных | |
Параметр входа данных | учебник |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 460257 |
Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Научная библиотека ТГУ | Читальный зал 5 | 05/04/2021 | 411.00 | 621.3 Ц274 | 13820000998277 | Выдается по месту хранения | ||||
Научная библиотека ТГУ | Читальный зал. Депозитарий | 05/04/2021 | 411.00 | 621.3 Ц274 | 13820000998278 | 1 месяц |