Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 (Record no. 460257)

MARC details
000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 02867nam a2200529 c 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле vtls000670189
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20211217101642.0
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 191120s2018 ru a b 000 0 rus|d
020 ## - Индекс ISBN
ISBN 9785703848647
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер 009843295
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RuMoRGB
Код языка каталог. rus
Правила каталог. rcr
Организация, изменившая запись RU-ToGU
041 0# - Код языка издания
Код языка текста rus
044 ## - Код страны публикации
Код страны публикации ru
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.382.049.77-022.532(075.8)
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.382.049.77-022.532:66.011(075.8)
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК
Индекс другой классификации/Индекс ББК З844.1-06я73-1
Источник индекса rubbk
100 1# - Автор
Автор Цветков, Юрий Борисович
9 (RLIN) 498494
245 10 - Заглавие
Заглавие Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Продолж. заглавия учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"]
Ответственность Ю. Б. Цветков ; Московский гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана (нац. исслед. ун-т)
260 ## - Выходные данные
Место издания Москва
Издательство Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана
Дата издания 2018
300 ## - Физическое описание
Объем 122, [1] с.
Иллюстрации/тип воспроизводства ил., табл., цв. ил.
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: с. 52, 121
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова учебные пособия для вузов.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова микроэлектроника, технологические процессы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова интегральные микротехнологии
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова интегральные микросхемы, производство
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова КМОП-микросхемы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова КМОП-технологии
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова микроэлектромеханические системы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова особенности производства
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова микродатчики давления
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова чувствительные элементы датчиков
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевые пластины монокристаллические
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевые пластины, параметры
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова монокристаллический кремний
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова монокристаллы, выращивание.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремниевые пластины, обработка
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова термическое оксидирование
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова оксидирование, стадии
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова диоксид кремния, свойства
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова диоксид кремния, структура
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова Дила-Гроува модель роста оксида
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова термическое оксидирование промышленное
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
Полочный индекс 621.3
Авторский знак Ц274
Код страны ru
908 ## - Параметр входа данных
Параметр входа данных учебник
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 460257
Holdings
Не выдается Отсутствует на месте Поврежден Исходное место хранения Местоположение Дата поступления Цена Всего выдач Расстановочный шифр Штрих-код Класс экземпляра
      Научная библиотека ТГУ Читальный зал 5 05/04/2021 411.00   621.3 Ц274 13820000998277 Выдается по месту хранения
      Научная библиотека ТГУ Читальный зал. Депозитарий 05/04/2021 411.00   621.3 Ц274 13820000998278 1 месяц