Normal view
MARC view
Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ В. В. Дирко, В. А. Заяханов, К. В. Карева
Material type: ArticleSubject(s): молекулярно-лучевая эпитаксия | эпитаксиальные слои кремния | эпитаксиальные слои германия | кварцевые измерители толщиныGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Материалы 56-й Международной научной студенческой конференции МНСК-2018, 22-27 апреля 2018 г. Квантовая физика С. 9No physical items for this record
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.