Normal view
MARC view
Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ (Record no. 451333)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 01575naa a2200289 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000652549 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20221227130738.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr | |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 190418s2018 ru fs 100 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000652549 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Дирко, Владимир Владиславович |
| 9 (RLIN) | 473120 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ |
| Ответственность | В. В. Дирко, В. А. Заяханов, К. В. Карева |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | молекулярно-лучевая эпитаксия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эпитаксиальные слои кремния |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эпитаксиальные слои германия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кварцевые измерители толщины |
| 655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
| Жанр/форма | статьи в сборниках |
| 9 (RLIN) | 713576 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Заяханов, Владимир Александрович |
| 9 (RLIN) | 492390 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Карева, Катерина Валерьевна |
| 9 (RLIN) | 493117 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Материалы 56-й Международной научной студенческой конференции МНСК-2018, 22-27 апреля 2018 г. Квантовая физика |
| Место и дата издания | Новосибирск, 2018 |
| Прочая информация | С. 9 |
| ISBN | 9785443707433 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 856 4# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000652549">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000652549</a> |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 451333 |
No items available.