Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Учебное пособие по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] М. А. Королев, А. Ю. Красюков, С. А. Поломошнов ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т)

By: Королев, Михаил АлександровичContributor(s): Красюков, Антон Юрьевич | Поломошнов, Сергей АлександровичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 99 с. ил. 20 смISBN: 9785725606539Subject(s): учебные пособия для вузов | наноэлектроника | МОП-транзисторы наноразмерные | интегральные микросхемы наноразмерные кремниевые | транзисторы биполярные изопланарные | планарная технология | диэлектрики подзатворные | МОП-структуры | двуокись кремния | окислы подзатворные | нитрирование термическое | МОП-транзисторы субмикронные | МОП-транзисторы | микроминиатюризация МОП-транзисторов | поликремниевые затворы | силицидные затворы | интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация | технология МОП-транзисторов наноразмерных
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Holdings
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 1-998726к (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000792208
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
No cover image available
No cover image available
1-998723к Лабораторный практикум по дисциплине "Экспериментальныне методы исследования и основы метрологии нанообъектов" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] 1-998724к Учебное пособие по дисциплине "Современные технологии проектирования элементов и устройств наноэлектроники" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] 1-998725к Лабораторный практикум по дисциплине "Физика конденсированного состояния" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника 1-998726к Учебное пособие по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] 1-998727к Учебное пособие по дисциплине "Наноэлектронные устройства и их модели" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника 1-998728к Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] 1-998731к Серебряный пояс [повесть]

Библиогр.: с. 97

There are no comments on this title.

to post a comment.