Normal view
MARC view
Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.) В. М. Таран, В. И. Орлов
Material type: TextSeries: Обзоры по электронной техникеPublication details: М. Электроника 1987Description: 49, [1] с. илSubject(s): плазменная обработка материалов | материалы электронной техники | плазменные устройства | плазмотроны | напыление порошковых материалов | плазменные ускорители | магнетронные распылительные системы | реакторы плазменного травления | ионные источники плазменные | вакуумная техника | плазменное оборудование | ионное травление | плазмохимическое травление | плазменно-дуговое напыление | нанесение тонких пленокItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-653724к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000680931 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
Библиогр.: с. 48-50
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.