Normal view
MARC view
Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (Record no. 225892)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02485nam a2200421 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000344940 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922021354.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 120827s1987 ru ad f b 000 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000344940 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.791.927.55:621.382(048.8)"1980/1987" |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Таран, Владимир Маркович. |
| 9 (RLIN) | 302720 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники |
| Продолж. заглавия | (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.) |
| Ответственность | В. М. Таран, В. И. Орлов |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | М. |
| Издательство | Электроника |
| Дата издания | 1987 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 49, [1] с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
| 490 10 - Серия | |
| Заглавие серии | Обзоры по электронной технике |
| -- | Серия 7 |
| -- | Технология, организация производства и оборудование |
| № тома | вып. 16 (1317) |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 48-50 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменная обработка материалов |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | материалы электронной техники |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменные устройства |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазмотроны |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | напыление порошковых материалов |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменные ускорители |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | магнетронные распылительные системы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | реакторы плазменного травления |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | ионные источники плазменные |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | вакуумная техника |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменное оборудование |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | ионное травление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазмохимическое травление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменно-дуговое напыление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанесение тонких пленок |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Орлов, Василий Иванович. |
| 9 (RLIN) | 299616 |
| 830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Обзоры по электронной технике |
| Номер части/раздела работы | Серия 7 |
| Название части/раздела работы | Технология, организация производства и оборудование |
| 9 (RLIN) | 302721 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Код страны | ru |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 225892 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 04/04/2021 | 0.62 | 1-653724к | 13820000680931 | Выдается в читальный зал |