Normal view
MARC view
Практическая фотолитография (Record no. 11319)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 01642nam a2200337 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000045723 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210910112733.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 990616s1998 ru a | b 000 | rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | 0048-26660 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| Правила каталог. | PSBO |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.383(075.8) |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Гудымович, Елена Никифоровна. |
| 9 (RLIN) | 66959 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Практическая фотолитография |
| Продолж. заглавия | Учебное пособие для студентов университетов и других учебных заведений химических специальностей |
| Ответственность | Томский государственный университет, Кафедра аналитической химии |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Томск |
| Издательство | Издательство Томского университета |
| Дата издания | 1998 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 92 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 86 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | учебные издания для вузов. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводники. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | планарная технология. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | фотолитография. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | подложка. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | фоторезист. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | УФ-излучение. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | термообработка. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диффузия. |
| 710 2# - Другие организации | |
| Организация/юрисдикция | Томский государственный университет. |
| 9 (RLIN) | 53646 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 1-866130к |
| Авторский знак | 621.38 |
| Код страны | ru |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | учебник |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 11319 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Номер копии | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Отдел рукописей и книжных памятников | 02/04/2021 | 8.00 | 1-866130к 621.38 | 13820000060939 | 1 | Выдается в читальный зал |