Normal view
MARC view
Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС (Record no. 5599)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 01605nam a2200385 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000052829 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210913214455.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 000112s1999 ru 00| | rus d |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 5934970011 |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | 0055-53960 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| Правила каталог. | PSBO |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 537.311.322 |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Красников, Геннадий Яковлевич |
| Дата | 1958- |
| 9 (RLIN) | 97433 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС |
| Номер части/раздела | Ч. 2 |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | М. |
| Дата издания | 1999 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 216 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | гр. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 213-214 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | субмикронная технология. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводники. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | геттерирование. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | дефекты структурно-примесные. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | дрейф ионов. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кремниевые микросхемы. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | интегральные схемы. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | электронно-ионные процессы. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | чипы кремниевые. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | электрофизические свойства. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | алюминиевые пленки. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | металлизация алюминиевая. |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Зайцев, Николай Алексеевич. |
| 9 (RLIN) | 112038 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 1-868125к |
| Авторский знак | 621.3 |
| Код страны | ru |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 5599 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Номер копии | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 02/04/2021 | 24.00 | 1-868125к 621.3 | 13820000080468 | 1 | Выдается в читальный зал |