Normal view
MARC view
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] В. И. Шевяков ; Моск. гос. ин-т электронной техники (технический ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 51 с. ил. 21 смSubject(s): Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений | контакты выпрямляющие металлизации | интегральные схемы сверхбольшие | Шоттки контакты | наноэлектроника | контакты силицидные | контакты металл-кремний | силицид титана | контакты металл-ковалентный полупроводникOther classification: З844.15-060.7я73-14
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-998816к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000792008 |
Библиогр.: с. 50
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.