МИЭТ [Московский государственный институт электронной техники] : web-сайт [Электронный ресурс]. URL: http://www.miet.ru/person/10766

Доктор техн. наук, профессор. Ученый в области металлизации ИС, сканирующей зондовой микроскопии. Выпускник Моск. гос. ин-та электронной техники 1975 г. В МИЭТе работает с 1975 г., профессор кафедры интегральной электроники и микросистем (с 1999 г.). Читаемые курсы: процессы микроинтегральной технологии, металлизация СБИС.