Normal view
MARC view
Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике" [сост.: М. Г. Путря, А. А. Голишников ; ред. Е. Г. Кузнецова] ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Material type:
TextSeries: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 43 с. таблSubject(s): учебные программы | наноэлектроника | плазменные технологии | плазменное травление | плазменное осаждение | ионно-плазменное легирование | интегральные схемы сверхбольшие | интегральные схемы кремниевые
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-998695к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000792306 |
Сост. указ. на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 13-14, 42
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.