Normal view
MARC view
Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике" (Record no. 258924)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02180nam a2200373 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000416926 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922034259.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 120830s2011 ru a b 000 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000416926 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.38.049.77-022.532:621.793.74(073.8) |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике" |
| Ответственность | [сост.: М. Г. Путря, А. А. Голишников ; ред. Е. Г. Кузнецова] ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | МИЭТ |
| Дата издания | 2011 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 43 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | табл. |
| 490 10 - Серия | |
| Заглавие серии | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
| 500 ## - Примечания | |
| Примечание | Сост. указ. на обороте тит. л. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 13-14, 42 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | учебные программы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | наноэлектроника |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменные технологии |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменное травление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазменное осаждение |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | ионно-плазменное легирование |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | интегральные схемы сверхбольшие |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | интегральные схемы кремниевые |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Голишников, Александр Анатольевич |
| Код отношения | com |
| 9 (RLIN) | 345400 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Кузнецова, Е. Г. |
| Код отношения | edt |
| 9 (RLIN) | 189862 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Путря, Михаил Георгиевич |
| Код отношения | com |
| 9 (RLIN) | 345401 |
| 830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
| 9 (RLIN) | 189863 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 621.3 |
| Авторский знак | У912 |
| Код страны | ru |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | учебник |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 258924 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 04/04/2021 | 200.00 | 1-998695к | 13820000792306 | Выдается в читальный зал |