000 01541nam a22002891 4500
001 koha000951170
005 20230128030541.0
007 cr bn uu|uu
008 200226s2012 ru | 000 0 rus d
035 _akoha000951170
040 _aRU-ToGUA
_brus
_cRU-ToGUA
_ePSBO
100 1 _aЗайцева, Е.
_9226752
245 1 0 _aВлияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок
_h[Электронный ресурс]
_bСтатья
260 _aИжевск
_bФГБОУ ВПО "Удмуртский Государственный университет"
_c2012
300 _a5 с.
540 _aАспирантура
650 4 _aФизико-математические науки
_xФизика твердого тела. Кристаллография
_2local
_9660339
655 0 4 _aСтатья
_2local
700 1 _aЗакирова, Р.М., Константин Сергеевич
_9865160
700 1 _aКрылов, П.Н., Ирина
_9865161
700 1 _aЛебедев
_9776433
700 1 _aФедотова
_9779716
856 4 _aznanium.com
_mebs_support@infra-m.ru
_nНИЦ ИНФРА-М
_uhttps://znanium.com/catalog/document?id=260493
_yЭБС Знаниум
856 4 1 _aznanium.com
_d/cover/0516
_f516827.jpg
_qimage/jpeg
_uhttps://znanium.com/cover/0516/516827.jpg
_yЭБС Знаниум
910 _aЭБС Знаниум
999 _c951170