| 000 | 01069naa a2200253 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha000926051 | ||
| 005 | 20221222160416.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 221222s2005 ru a fs 100 0 rus d | ||
| 035 | _akoha000926051 | ||
| 039 |
_b122 _z122 |
||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 100 | 1 |
_aМитяшин, М. О. _9855808 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aФототравление поверхности оксида кремния _cМ. О. Митяшин |
| 246 | 1 | 1 | _aPhotolytic etching of the surface of SiO2 |
| 504 | _aБиблиогр.: 1 назв. | ||
| 653 | _aтруды ученых ТГУ | ||
| 653 | _aфототравление | ||
| 653 | _aоксид кремния | ||
| 773 | 0 |
_tФизика и химия наноматериалов : сборник материалов Международной школы-конференции молодых ученых, 13-16 декабря 2005 г., Томск, Россия _dТомск, 2005 _gС. 706-708 _z5946211579 _wkoha000901496 |
|
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _nru |
|
| 908 | _aстатья | ||
| 942 | _2udc | ||
| 999 |
_c926051 _d926051 |
||