000			02313nam a2200301 i 4500
001			koha000919008
006			m o
007			cr
008			220207d2022 RU s 00 0 rus
035			_akoha000919008
040			_aRU _brus _cRU _dRu-ToGu
080			_a32.85я73
084			_a54:621.38 _2rubbk
100	1		_aРодионов, Ю. А. _9778878
245	1	0	_aХимические технологии в производстве микроэлектромеханических систем _hЭлектронный ресурс _cРодионов Ю. А.
260			_aСанкт-Петербург _bЛань _c2022
300			_a220 с.
520			_aРассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры Электроника и наноэлектроника, Конструирование и технология электронных средств.
653			_aРеактив
653			_aфильтрация
653			_aтравление
653			_aнанесение пленок
653			_aдеионизованная вода
856	4		_uhttps://e.lanbook.com/book/200492 _yЭБС Лань
856	4	1	_uhttps://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg _yЭБС Лань
910			_aЭБС Лань
999			_c919008