000 03611nab a2200421 c 4500
001 koha000898568
005 20221223172043.0
007 cr |
008 220824|2021 ru s c rus d
024 7 _a10.21883/FTP.2021.03.50606.9546
_2doi
035 _akoha000898568
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
245 1 0 _aВлияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость полиморфных Ga2O3-структур
_cА. В. Алмаев, В. И. Николаев, С. И. Степанов [и др.]
246 1 1 _aEffect of ambient humidity on the electrical conductivity properties of polymorphic Ga2O3 structures
336 _aТекст
337 _aэлектронный
504 _aБиблиогр.: 33 назв.
520 3 _aИсследовано влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость структур a-Ga2O3 и a-Ga2O3/"-Ga2O3. Полиморфные эпитаксиальные слои Ga2O3 осаждались методом хлоридной газофазной эпитаксии на сапфировые подложки. В качества контактов использовались Pt и Pt/Ti. Обнаружено, что вольт-амперные характеристики структур Pt/a-Ga2O3/Pt и Pt/Ti/a-Ga2O3/"-Ga2O3/Ti/Pt имеют высокую чувствительность к влажности атмосферы в области температур 25−100◦C. Установлено, что влияние водяных паров на вольт-амперные характеристики является обратимым и наиболее существенные изменения тока в образцах наблюдаются при относительной влажности RH >= 60%. С повышением температуры эффект влияния влажности атмосферы на вольт-амперные характеристики уменьшается и при температурах T > 100◦C пропадает. Полученные экспериментальные результаты объясняются в рамках механизма Гротгусса.
653 _aэпитаксиальные слои
653 _aэпитаксиальные пленки
653 _aполиморфные превращения
653 _aхлоридная газофазная эпитаксия
653 _aвольт-амперные характеристики
653 _aвлажность атмосферы
655 4 _aстатьи в журналах
_9811091
700 1 _aАлмаев, Алексей Викторович
_994842
700 1 _aНиколаев, Виктор Иванович
_9501075
700 1 _aСтепанов, Сергей Игоревич
_9811093
700 1 _aЯковлев, Никита Николаевич
_9502213
700 1 _aПечников, Алексей Игоревич
_9811095
700 1 _aЧерников, Евгений Викторович
_986739
700 1 _aКушнарев, Богдан Олегович
_9230421
773 0 _tФизика и техника полупроводников
_d2021
_gТ. 55, № 3. С. 269-276
_x0015-3222
_w0028-44860
852 4 _aRU-ToGU
856 4 _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000898568
908 _aстатья
999 _c898568