000 | 03611nab a2200421 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | koha000898568 | ||
005 | 20221223172043.0 | ||
007 | cr | | ||
008 | 220824|2021 ru s c rus d | ||
024 | 7 |
_a10.21883/FTP.2021.03.50606.9546 _2doi |
|
035 | _akoha000898568 | ||
040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
245 | 1 | 0 |
_aВлияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость полиморфных Ga2O3-структур _cА. В. Алмаев, В. И. Николаев, С. И. Степанов [и др.] |
246 | 1 | 1 | _aEffect of ambient humidity on the electrical conductivity properties of polymorphic Ga2O3 structures |
336 | _aТекст | ||
337 | _aэлектронный | ||
504 | _aБиблиогр.: 33 назв. | ||
520 | 3 | _aИсследовано влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость структур a-Ga2O3 и a-Ga2O3/"-Ga2O3. Полиморфные эпитаксиальные слои Ga2O3 осаждались методом хлоридной газофазной эпитаксии на сапфировые подложки. В качества контактов использовались Pt и Pt/Ti. Обнаружено, что вольт-амперные характеристики структур Pt/a-Ga2O3/Pt и Pt/Ti/a-Ga2O3/"-Ga2O3/Ti/Pt имеют высокую чувствительность к влажности атмосферы в области температур 25−100◦C. Установлено, что влияние водяных паров на вольт-амперные характеристики является обратимым и наиболее существенные изменения тока в образцах наблюдаются при относительной влажности RH >= 60%. С повышением температуры эффект влияния влажности атмосферы на вольт-амперные характеристики уменьшается и при температурах T > 100◦C пропадает. Полученные экспериментальные результаты объясняются в рамках механизма Гротгусса. | |
653 | _aэпитаксиальные слои | ||
653 | _aэпитаксиальные пленки | ||
653 | _aполиморфные превращения | ||
653 | _aхлоридная газофазная эпитаксия | ||
653 | _aвольт-амперные характеристики | ||
653 | _aвлажность атмосферы | ||
655 | 4 |
_aстатьи в журналах _9811091 |
|
700 | 1 |
_aАлмаев, Алексей Викторович _994842 |
|
700 | 1 |
_aНиколаев, Виктор Иванович _9501075 |
|
700 | 1 |
_aСтепанов, Сергей Игоревич _9811093 |
|
700 | 1 |
_aЯковлев, Никита Николаевич _9502213 |
|
700 | 1 |
_aПечников, Алексей Игоревич _9811095 |
|
700 | 1 |
_aЧерников, Евгений Викторович _986739 |
|
700 | 1 |
_aКушнарев, Богдан Олегович _9230421 |
|
773 | 0 |
_tФизика и техника полупроводников _d2021 _gТ. 55, № 3. С. 269-276 _x0015-3222 _w0028-44860 |
|
852 | 4 | _aRU-ToGU | |
856 | 4 | _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000898568 | |
908 | _aстатья | ||
999 | _c898568 |