000 01580naa a2200313 4500
001 koha000847514
005 20220301113342.0
008 220301s2003 ru f 110 0 rus d
035 _akoha000847514
039 _z26
_b26
040 _aRU-ToGU
_cRU-ToGU
_brus
100 1 _968547
_aГаман, Василий Иванович
_d1929-2021
245 1 0 _aГазочувствительные элементы на основе кремниевых МОП-диодов
_cВ. И. Гаман, В. М. Калыгина
653 _aсложные полупроводники
653 _aполупроводниковые наноструктуры
653 _aсенсоры
653 _aгазовые сенсоры
653 _aинтегральные схемы
653 _aгазочувствительные элементы
653 _aМОП-структуры
653 _aкремний
653 _aэкспериментальные исследования
653 _aтруды ученых ТГУ
700 1 _974707
_aКалыгина, Вера Михайловна
773 0 _tСовременные проблемы физики и высокие технологии : материалы Международной конференции, посвященной 125-летию ТГУ, 75-летию СФТИ и 50-летию РФФ ТГУ (29 сентября - 4 октября 2003 г.)
_dТомск, 2003
_gС. 122-125
_wto000472355
_z5895031927
852 4 _aRu-ToGU
_nru
908 _aстатья
942 _2udc
999 _c847514
_d847514