| 000 | 01099naa a2200241 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000481924 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210402235510.0 | ||
| 008 | 140709s2008 ru f 000 0 rus d | ||
| 035 | _ato000481924 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 100 | 1 |
_aГудымович, Елена Никифоровна _966959 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aОсновные проблемы фотохимического травления диэлектрических слоев в микроэлектронике _cЕ. Н. Гудымович |
| 653 | _aнаноматериалы полифункциональные | ||
| 653 | _aнанотехнологии | ||
| 653 | _aтруды ученых ТГУ | ||
| 653 | _aфотохимическое травление | ||
| 653 | _aдиэлектрические слои | ||
| 773 | 0 |
_tПолифункциональные наноматериалы и нанотехнологии. Т. 1 _dТомск, 2008 _gТ. 1. С. 168-171 _z9785751118822 _wto000470812 |
|
| 852 | _aRU-ToGU | ||
| 908 | _aстатья | ||
| 999 | _c80320 | ||