000			01944nam a2200373 4500
001			vtls000072253
003			RU-ToGU
005			20210921201723.0
008			000614s1970 ru a b 000 0 rus d
035			_a0075-27360
040			_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU _ePSBO
080			_a621.315.592(075.8)
100	1		_aМедведев, Сергей Александрович. _9169874
245	1	0	_aВведение в технологию полупроводниковых материалов _b[учебное пособие для вузов по специальности "Полупроводники и диэлектрики"] _cС. А. Медведев
260			_aМосква _bВысшая школа _c1970
300			_a503, [1] с. _bил.
504			_aБиблиогр. в конце гл.
653			_aучебные издания для вузов.
653			_aполупроводниковые материалы.
653			_aполупроводники алмазоподобные.
653			_aструктура кристаллов.
653			_aфазовые равновесия.
653			_aфазовые превращения веществ.
653			_aдефекты в кристаллах.
653			_aдефекты кристаллов полупроводников
653			_aвыращивание кристаллов.
653			_aвыращивание монокристаллов полупроводников
653			_aдиффузионные процессы.
653			_aметоды очистки материалов
653			_aполупроводниковые соединения.
852	4		_aRU-ToGU _h621.3 _iМ42 _nru
908			_aучебник
999			_c74012