| 000 | 01738nam a2200277 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000438879 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210910114203.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 121129s2012 ru a fsbm 000 0 rus d | ||
| 035 | _ato000438879 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 072 | 7 |
_a01.04.14 _2nsnr |
|
| 100 | 1 |
_aШанин, Сергей Александрович _990591 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aМоделирование формирования состава покрытия при осаждении из плазмы _bавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.14 _cШанин Сергей Александрович |
| 260 |
_aТомск _b[б. и.] _c2012 |
||
| 300 |
_a19 с. _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 18-19 | ||
| 650 | 7 |
_aТеплофизика и теоретическая теплотехника _2nsnr _971426 |
|
| 655 | 4 |
_aавторефераты диссертаций _9101697 |
|
| 710 | 2 |
_aТомский государственный университет _bФизико-технический факультет _bКафедра математической физики _982144 |
|
| 710 | 2 |
_aТомский политехнический университет _bКафедра физики высоких технологий в машиностроении _9135144 |
|
| 852 | 4 | _aRU-ToGU | |
| 856 | 7 | _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000438879 | |
| 999 | _c66364 | ||