| 000 | 01605nam a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000052829 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210913214455.0 | ||
| 008 | 000112s1999 ru 00| | rus d | ||
| 020 | _a5934970011 | ||
| 035 | _a0055-53960 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU _ePSBO |
||
| 080 | _a621.315.592 | ||
| 080 | _a537.311.322 | ||
| 100 | 1 |
_aКрасников, Геннадий Яковлевич _d1958- _997433 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aФизико-технологические основы обеспечения качества СБИС _nЧ. 2 |
| 260 |
_aМ. _c1999 |
||
| 300 |
_a216 с. _bгр. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 213-214 | ||
| 653 | _aсубмикронная технология. | ||
| 653 | _aполупроводники. | ||
| 653 | _aгеттерирование. | ||
| 653 | _aдефекты структурно-примесные. | ||
| 653 | _aдрейф ионов. | ||
| 653 | _aкремниевые микросхемы. | ||
| 653 | _aинтегральные схемы. | ||
| 653 | _aэлектронно-ионные процессы. | ||
| 653 | _aчипы кремниевые. | ||
| 653 | _aэлектрофизические свойства. | ||
| 653 | _aалюминиевые пленки. | ||
| 653 | _aметаллизация алюминиевая. | ||
| 700 | 1 |
_aЗайцев, Николай Алексеевич. _9112038 |
|
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h1-868125к _i621.3 _nru |
|
| 999 | _c5599 | ||