| 000 | 01264nam a2200217 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000052875 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20211022155323.0 | ||
| 008 | 091028s1999 ru a f mb 000 0 rus d | ||
| 035 | _a0055-58560 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU _ePSBO |
||
| 100 | 1 |
_aБахмач, Ольга Федоровна. _9112326 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aИсследование и разработка методов моделирования для управления технологическими процессами компьютерно-интегрированного производства СБИС _bАвтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.01 |
| 260 |
_aМ. _c1999 |
||
| 300 |
_a23 с. _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с.22-23 | ||
| 650 | 0 | 7 |
_aТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. _2БВАК1995N4 _9112047 |
| 653 | _aавторефераты диссертаций. | ||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h1-868822к _iХ621 _nru |
|
| 999 | _c5578 | ||