000 02517nam a2200481 i 4500
001 vtls000231806
003 RU-ToGU
005 20220620103729.0
008 070613s2006 ru a f b 000 0 rus d
020 _a5898963030
035 _ato000231806
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
080 _a548.734:548.4
080 _a548.4:621.515.5
100 1 _aДанильчук, Леонид Нестерович.
_9281442
245 1 0 _aРентгеновская дифракционная топография дефектов в кристалах на основе эффекта Бормана
_cЛ. Н. Данильчук, А. О. Окунев, В. А. Ткаль ; Новгородский гос. ун-т им. Ярослава Мудрого
260 _aВеликий Новгород
_b[б. и.]
_c2006
300 _a493 с.
_bил.
504 _aБиблиогр.: с. 464-493
653 _aБормана эффект
653 _aрентгенотопографические изображения
653 _aдефекты кристаллов
653 _aдефекты монокристаллов
653 _aцифровая обработка изображений
653 _aполяризационно-оптические изображения
653 _aаппаратно-программное обеспечение
653 _aфильтрация изображений
653 _aвейвлет-анализ
653 _aмакрополя деформаций
653 _aмикродефекты кристаллов
653 _aмонокристаллы полупроводников
653 _aдислокационные структуры
653 _aдефекты упаковки в монокристаллах
653 _aэпитаксиальные слои германия
653 _aэпитаксиальные слои кремния
653 _aэпитаксиальный рост кристаллов
653 _aпроизводство интегральных микросхем
653 _aпроизводство полупроводниковых приборов
700 1 _aОкунев, Алексей Олегович.
_9116058
700 1 _aТкаль, Валерий Алексеевич.
_9281443
852 4 _aRU-ToGU
_nru
999 _c508971