000 05324nam a2201081 i 4500
001 vtls000213428
003 RU-ToGU
005 20230215101513.0
008 060124s2005 ru a f b 010 0 rus
017 _a05-81252
_bRuMoRKP
020 _a5948360598
035 _a(RU-RKP)ru06-002202RKP
040 _aRuMoRKP
_brus
_cRU-RKP
_dRU-ToGU
041 0 _arus
080 _a621.382.049.77-022.532:538.971
080 _a538.971:539.25
084 _a32.85
_2rubbkm
245 1 0 _aНанотехнологии в электронике
_c[Н. И. Боргардт, В. Н. Кукин, С. Н. Мазуренко и др.] ; под ред. Ю. А. Чаплыгина
260 _aМосква
_bТехносфера
_c2005
300 _a446 с.
_bил.
_c22 см.
500 _aАвт. указаны в содерж.
500 _aПосвящ. 40-летию МИЭТ
504 _aБиблиогр. в конце гл.
650 7 _aнанотехнология
_2RuMoRKP
_9151444
653 _aэлектронная микроскопия
653 _aэлектронные микроскопы
653 _aдифракция электронов
653 _aцифровая обработка изображений
653 _aполупроводниковые гетероструктуры
653 _aнаноэлектроника углеродная
653 _aфуллерены
653 _aнанотрубки
653 _aуглеситаллы
653 _aнанотрубки углеродные
653 _aзондовая микроскопия
653 _aнаноэлектронные материалы
653 _aнаноструктуры
653 _aфизика поверхности
653 _aзондовое окисление локальное
653 _aнанолитография
653 _aнаноструктуры поверхностные периодические
653 _aнаноразмерные пористые материалы
653 _aфотонные кристаллы
653 _aнаноструктурированные поверхности
653 _aмикроскопия атомно-силовая
653 _aнаноразмерные структуры имплантированные
653 _aкобальта дисицилид
653 _aкремниевые подложки
653 _aсилициды
653 _aинтегральные схемы
653 _aионный синтез
653 _aполупроводниковые структуры самоорганизованные
653 _aфрактальный анализ
653 _aквантовые точки имплантированные
653 _aнаноразмерные кластеры
653 _aмолекулярно-лучевая эпитаксия
653 _aгетероэпитаксиальный рост пленок
653 _aнанокристаллы
653 _aтранзисторы полевые гетеропереходные
653 _aнанотехнологии зондовые
653 _aарсенид галлия, гетероструктуры
653 _aнаноэлектроника металлическая
653 _aнанотранзисторы
653 _aинверторы
653 _aнаноразмерные структуры волноводные
653 _aоптические волокна
653 _aфотонно-кристаллические волокна
653 _aдоменные структуры периодические
653 _aсегнетоэлектрики
653 _aнанокомпозиты
653 _aнанокерамика
653 _aсверхпроводники высокотемпературные
653 _aнаносистемная техника
653 _aмикросистемная техника
653 _aкремний-на-изоляторе, технология
653 _aнанотехнологии миокарда
653 _aбиочипы
653 _aнанороботы внутрисосудистые
653 _aнаносенсоры биомедицинские
653 _aсердце искусственное
653 _aнанообъекты сердца
653 _aмикророботы внутрисосудистые
653 _aэлектрокардиостимуляторы
653 _aдефибрилляторы сердца
700 1 _aБоргардт, Николай Иванович.
_9116965
700 1 _aКукин, Владимир Николаевич.
_9514283
700 1 _aМазуренко, Сергей Николаевич.
_9514284
700 1 _aЧаплыгин, Юрий Александрович
_4edt
_9151445
852 4 _aRU-ToGU
_h62
_iН254
_nru
900 _brus
_ca
_dm
920 _a5-94836-059-8
_bв пер.
_91500 экз.
999 _c484814