000 | 02321cam a2200397 i 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | vtls000416943 | ||
003 | RU-ToGU | ||
005 | 20210922112229.0 | ||
008 | 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d | ||
020 | _a9785725606584 | ||
035 | _a005041657 | ||
040 |
_aRuMoRKP _brus _dRuMoRGB _dRU-ToGU |
||
041 | 0 | _arus | |
080 | _a621.38-022.532:006.915(075.8) | ||
100 | 1 |
_aИльичев, Эдуард Анатольевич _986390 |
|
245 | 1 | 0 |
_aУчебное пособие по дисциплине "Экспериментальные методы исследования и основы метрологии нанообъектов" _b[по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] _cЭ. А. Ильичев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
260 |
_aМосква _bМИЭТ _c2011 |
||
300 |
_a255 с. _bил. _c21 см. |
||
490 | 1 | 0 | _aУчебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" |
504 | _aБиблиогр.: с. 249-251 | ||
653 | _aучебные пособия для вузов | ||
653 | _aнанообъекты | ||
653 | _aметрология | ||
653 | _aэталоны физических величин | ||
653 | _aизмерение наноразмерных перемещений | ||
653 | _aизмерение наноразмерных длин | ||
653 | _aизмерительные системы | ||
653 | _aэлементарная теория ошибок | ||
653 | _aфлуктуационные процессы | ||
653 | _aпучковые методы исследований | ||
653 | _aизмерения физических параметров | ||
830 |
_aУчебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" _9260617 |
||
852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iУ912 _nru |
|
908 | _aучебник | ||
999 | _c483663 |