000 02321cam a2200397 i 4500
001 vtls000416943
003 RU-ToGU
005 20210922112229.0
008 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d
020 _a9785725606584
035 _a005041657
040 _aRuMoRKP
_brus
_dRuMoRGB
_dRU-ToGU
041 0 _arus
080 _a621.38-022.532:006.915(075.8)
100 1 _aИльичев, Эдуард Анатольевич
_986390
245 1 0 _aУчебное пособие по дисциплине "Экспериментальные методы исследования и основы метрологии нанообъектов"
_b[по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
_cЭ. А. Ильичев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
260 _aМосква
_bМИЭТ
_c2011
300 _a255 с.
_bил.
_c21 см.
490 1 0 _aУчебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
504 _aБиблиогр.: с. 249-251
653 _aучебные пособия для вузов
653 _aнанообъекты
653 _aметрология
653 _aэталоны физических величин
653 _aизмерение наноразмерных перемещений
653 _aизмерение наноразмерных длин
653 _aизмерительные системы
653 _aэлементарная теория ошибок
653 _aфлуктуационные процессы
653 _aпучковые методы исследований
653 _aизмерения физических параметров
830 _aУчебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
_9260617
852 4 _aRU-ToGU
_h621.3
_iУ912
_nru
908 _aучебник
999 _c483663